薄膜技術與表面分析 100年度第2學期
(Thin-Film Technology and Surface Analysis)

1. 課程簡介與緒論 (Introduction) (陳立仁) 101.2.23
2. X射線光電子光譜（XPS）與螺旋電子光譜（Auger）進行表面分析：（陳賢燁） 101.3.1
2.1表面分析簡介：
表面的定義；表面敏度；儀器計測法。
2.2 X射線光電子光譜學：
X射線誘導光電子；結合能與化學轉移；光譜特徵。
2.3 螺旋電子光譜學：
電子之螺旋程序；深度剖面解析
2.4 實驗說明
3. 掃描式電子顯微鏡(SEM)分析：（呂宗昕）101.3.8
3.1 緒論
3.2 電子顯微鏡的分類及其功能
3.3 電子束與物質之作用
3.4 電子顯微鏡、光學顯微鏡及X光繞射儀之特性與功能比較
3.5 電子顯微鏡之機台構造
3.6電子顯微鏡照片之分析
3.7 實驗說明
4. 薄膜之製作技術 (Thin film)：（吳嘉文）101.3.15
4.1溶膠-凝膠法：
溶膠-凝膠拉伸法及旋轉塗佈法的原理；溶膠-凝膠法的各項技術；溶膠-凝膠法的各項優點
4.2化學蒸鍍法：
反應種類；化學蒸鍍法的熱力學；氣體傳輸；薄膜成長機制
4.3電漿及離子光束法
反應濺鍍過程；各種物理蒸鍍法的結合
4.4實驗說明
5. 原子力顯微儀(AFM) （陳立仁） 101.3.22
5.1 穿隧效應
5.2 穿隧效應之應用（掃描式穿隧顯微鏡學）
5.3 原子力顯微鏡(AFM)
基本概念介紹；定力操作模式與定高操作模式；儀器計測法（懸臂樑式探測法與壓電陶瓷）；接觸模式（Contact mode）與流動槽；輕叩模式（Tapping mode）。
5.4側力顯微鏡學(LFM)
5.5相差成像（phase imaging）
5.6實驗說明
6. X光繞射分析（XRD）： （吳乃立）101.3.29
6.1 X光繞射原理 ：
6.2 X光繞射晶相分析
6.3 X光繞射晶向與晶粒尺寸分析
6.4研究範例
6.6實驗說明
7. 表面電漿共振 (SPR)： （王勝仕）101.4.5
7.1簡介
表面電漿共振之原理、表面電漿共
振之配置
7.2生物分子間之交互作用
基本定義及原理介紹、結合常數之性質與決定
7.3應用表面電漿共振於生物分子間之交互作用
7.4表面電漿共振數據分析
7.5研究相關範例
7.6 實驗說明
8. 期中考 101.4.12
9. 同步輻射簡介 李志甫博士 101.4.26
10. X光繞射薄膜晶相分析實驗101. 5.3
11. 薄膜之製作實驗 101.5.10
12. 原子力顯微儀 (AFM) 101.5.17
13. 以XPS與Auger進行表面分析實驗101.5.24
14. 掃描式電子顯微鏡(SEM)分析實驗101.5.31
15. 表面電漿共振實驗101.6.7
16. 期末考 101.6.14